探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要技術(shù)參數(shù)
-
1.臺階高度：幾納米至1200μm
-
2.低觸力：0.03至15mg
-
3.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
-
4.梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真
-
5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
-
6.緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
-
7.軟件：用戶友好的軟件界面
主要應用
-
1.臺階高度：2D臺階高度
-
2.紋理：2D粗糙度和波紋度
-
3.形式：2D翹曲和形狀
-
4.應力：2D薄膜應力
應用領(lǐng)域
-
1.大學，研究實驗室和研究所
-
2.半導體和復合半導體
-
3.SIMS：二次離子質(zhì)譜
-
4.LED：發(fā)光二極管
-
5.太陽能
-
6.MEMS：微電子機械系統(tǒng)
-
7.汽車
-
8.醫(yī)療設(shè)備
實例展示
臺階高度
紋理：粗糙度和波紋度
形式：翹曲和形狀
應力：2D薄膜應力
Alpha-Step D-500能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產(chǎn)生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。
- Alpha-Step D-500 Stylus Profiler 選項可供選擇，配合您的新產(chǎn)品，或后續(xù)使用。
探針選項
Alpha-Step D-500有多種探針可用于支持臺階高度、高縱橫比步長、粗糙度、樣品翹曲和應力的測量。 探針半徑范圍從100nm到50μm，并決定了測量的橫向分辨率。 夾角范圍為20到100度，決定了測量特征的縱橫比。 所有探針均采用金剛石制造，以減少磨損并延長探針的使用壽命。
樣品卡盤
Alpha-Step D-500具有一系列可用于支持應用要求的卡盤。 標準卡盤為鍍鎳鋁卡盤，可以處理至140mm的樣品。 一個扁平的黑色卡盤可用于透明樣品，限度地減少卡盤表面的反光。 并且提供通用的真空卡盤并包括用于50mm至125mm樣品的精密定位銷。 標準和通用卡盤均支持應力測量，并使用3點定位器將樣品保持在中性位置，進行精確的翹曲度測量。
隔離工作臺
Alpha-Step D-500具有桌面和獨立隔離臺選項。 Granite Isolator™系列提供桌面隔離系統(tǒng)，將花崗巖與高級硅凝膠結(jié)合在一起，提供被動隔離。 Onyz系列桌面隔離系統(tǒng)使用氣動空氣隔離裝置來提供被動隔離。 TMC 63-500系列隔離臺是一個獨立的鋼架工作臺，使用氣動空氣隔離裝置提供被動隔離。
臺階高度標準
Alpha-Step D-500采用VLSI標準提供的薄膜和厚膜NIST可追蹤臺階高度標準。 該標準提供安裝在石英塊上的硅芯片上的氧化物臺階功能。臺階高度的測量范圍是8nm至250μm。
Apex分析軟件
Apex分析軟件通過水平、過濾、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴展套件，增強了D-500的標準數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計算方法以及例如ASME的本地標準。 Apex還可用作報告編寫平臺，具有添加文本、注釋和是/否合格的功能。 Apex有八種語言的版本。
離線分析軟件
Alpha-Step D-500離線軟件具有與設(shè)備軟件相同的數(shù)據(jù)分析功能。 這使用戶無需使用寶貴的設(shè)備時間即可進行數(shù)據(jù)分析。
